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BAT300系列

产品亮点
  • 采用了双腔设计和独立源入口从而保证了源利用率并减少了交叉污染
  • 拥有自主知识产权的进气和加热方式保证成膜的高均匀性
  • Batch式设计极大提高了产能并降低了生产和设备成本
  • 兼容标准晶圆盒配置定制化传片系统可兼容6、8寸样品
  • 符合SEMI标准
技术参数
  • 晶圆尺寸 4英寸/6英寸可定制
    装片能力 300片/次，150片/次前驱源管路
    前驱源管路 6路独立管路可定制
    适用工艺 Al203、Ti02等氧化物及氮化物
    应用领域 光电显示及泛半导体等
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