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Grace Mx系列

产品亮点
  • 独特的模块设计、腔体和前驱源进气系统的优化实现了超高的工艺稳定性
  • 开发灵活度高可根据客户定制最大可容纳样品尺寸及层数
  • 符合CE标准
技术参数
  • 晶圆尺寸 4/6/8/12英寸晶圆、异形产品最大600*600mm尺寸，可定制
    装片能力 多层装片
    前驱源管路 最大6路独立管路可定制
    适用工艺 SnO2、Al2O3、HfO2、Si02等
    应用领域 先进封装、集成电路、微机电系统、光学、化学和工业机械
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