产品亮点

• 集成8-10个工艺腔体

• 自主研发的VTM传输系统配置2个冷却站分别同时冷却5片晶圆

• 配置2loadlocks(25pcs/loadlock)，自带内部自清洁功能，保障晶圆洁净

• 工艺腔体本底压力低极大控制氮化物膜层的氧含量

• 特有等离子体处理技术可有效减少高能粒子对局部膜层

• 独特工艺腔体设计，保证良好的温度场和流场的损伤

• 维护便利自带起重系统极大减少系统组装、检修、维护时间

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