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ELEGANT ALE

产品亮点
  • 7nm节点技术极窄线宽机构的精准刻蚀；
  • 3D NAND 制造中高深宽比的沟槽精准刻蚀；
  • MEMS 器件阵列无损刻蚀
技术参数
  • 晶圆尺寸 12英寸向下兼容，可定制
    装片能力 1片/次
    适用工艺 N+1以下先进7nm逻辑/19nm以下存储工艺
    支持刻蚀材料 支持刻蚀材料：HK Nitrides Metal
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