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ELEGANT-A系列

产品亮点
  • 可精确实现晶圆定位和计数并配合机械手臂完成精准的晶圆取放
  • 采用了双腔设计和独立源入口，从而保证了源利用率并减少了交叉污染
  • 数个升级端口同一真空腔体可实现等离子体增强和热法工艺
  • 开发的独特处理工艺-即ISSET技术能够大幅提升功率器件的电学性能
  • 符合SEMI标准
技术参数
  • 晶圆尺寸 6/8英寸
    装片能力 25片/次
    前驱源管路 6路独立管路可定制
    适用工艺 Al2O3、SnO2、TiO2、AlN、TiN、SiN等氧化物及氮化物
    应用领域 化合物、泛半导体等
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